Het belangrijkste verschil tussen microanalyse en semi-microanalyse is dat microanalyse wordt gebruikt om materiaal met een massa van minder dan 10 mg te analyseren, terwijl semi-microanalyse wordt gebruikt om materiaal met een massa van ongeveer 100-500 mg te analyseren.
Micro- en semi-microanalyse zijn twee soorten kwalitatieve analyse, namelijk de analyse van materiaal op basis van hun eigenschappen in plaats van hun hoeveelheden. Microanalyse verwijst naar de analyse van materiaal met deeltjesgroottes op microschaal. Voor microanalyse kunnen verschillende methoden worden gebruikt. Semi-microanalyse daarentegen is een ontwikkelde methode voor microanalyse.
